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突破納米級鏡面偏轉(zhuǎn)難題,超精密鏡面位移檢測,就選英國真尚有納米級差動電渦流傳感器
2023-05-31 05:23:17 來源:嗶哩嗶哩

應(yīng)用背景

定位轉(zhuǎn)向鏡面來獲取,追蹤,定位(ATP)激光信號,一般用在通信和研究上面。


(資料圖片)

定位鏡面的過程中,可以確保非常高的精度在亞微米弧度的范圍內(nèi),可使激光準(zhǔn)地射到數(shù)百公里以外的目標(biāo)。

測量方案

采用四個電渦流傳感器探頭-一對傳感器對應(yīng)一個軸方向-安裝在鏡面后面以檢測其運動位移(如圖1所示)。每個傳感器的作用相當(dāng)于平衡橋路的一條腿,當(dāng)鏡子旋轉(zhuǎn)時,橋便失去平衡,這里傳感器提供一個雙極性輸出電壓,這個電壓跟鏡面的位移成正比。因ZED51/52電渦流傳感器具有1nm的動態(tài)分辨率(靜態(tài)分辨率0.1nm)以及超長的時間穩(wěn)定性,所以鏡面出現(xiàn)納米級偏移都可以被準(zhǔn)備檢測到并且反饋給閉環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行調(diào)節(jié)。

方案選用的產(chǎn)品:ZED51/52納米級差動電渦流傳感器

ZED51/52納米級差動電渦流傳感器主要特點:

非接觸:用電渦流技術(shù),傳感器可以在不接觸被測目標(biāo)的情況下進(jìn)行測量,測量結(jié)果精確,可靠性高。

高分辨率:測量鏡面角位移的精確度可達(dá)亞微弧度,它僅受限于傳感器的安裝。

靈活性:多傳感器配置可容納多種測量范圍和其他性能方面的考慮,比如說鏡子的尺寸或者位移。

體積小易安裝:ZED51尺寸很?。?.12X2.00X0.75英寸),重量輕(70g)。

用途廣泛:ZED51除了可以用于定位鏡面,還可用于通訊衛(wèi)星的激光夜視鏡測距。

ZED51/52納米級差動電渦流傳感器測量原理:

差分測量系統(tǒng)是精密測量技術(shù)的重大進(jìn)步。它們提供出色的分辨率、可重復(fù)性和歸零精度,用于檢測導(dǎo)電目標(biāo)相對于一對非接觸式傳感器的對齊/居中位置。

對于差分測量應(yīng)用,每個通道有兩個精確匹配的傳感器位于目標(biāo)的相對兩側(cè)或兩端。在這種傳感器到目標(biāo)的關(guān)系中,當(dāng)目標(biāo)遠(yuǎn)離一個傳感器時,它向另一個傳感器移動等量。輸出為差分和雙極。同一電橋的相對腿上的電子匹配傳感器提供了卓越的熱穩(wěn)定性。

標(biāo)簽:

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